Jakie są elementy systemu próżniowego?

System próżniowy to kompletne urządzenie przemysłowe składające się z pompy próżniowej, systemu sterowania programem PLC, zbiornika magazynującego gaz, rurociągów próżniowych i innych komponentów. Jest szeroko stosowany w takich dziedzinach, jak półprzewodniki elektroniczne, optoelektroniczne moduły podświetlenia, obróbka skrawaniem, pakowanie żywności i laboratoria medyczne w celu utrzymania stabilnego środowiska próżniowego w celu wspierania precyzyjnych procesów produkcyjnych.

 

System ma konstrukcję modułową, integrującą kontrolę prędkości pompowania, filtrację na wlocie, wyświetlanie danych operacyjnych i interfejs zdalnego sterowania. Podczas-instalacji na miejscu do działania wymagane jest jedynie zasilanie i podłączenie rurociągów. W pełni zautomatyzowane zarządzanie jest możliwe dzięki systemowi sterowania PLC i interfejsowi człowiek-maszyna z ekranem dotykowym. Może automatycznie przełączać się pomiędzy głównymi i rezerwowymi grupami pomp (takimi jak pompy śrubowe i pompy Rootsa), aby zapewnić stabilny poziom próżni. Jest wyposażony w funkcję automatycznego wyłączania w przypadku awarii zasilania, przeciążenia silnika i-zabezpieczenia przed zwarciem, a także obsługuje system odzyskiwania wodoru w celu poprawy bezpieczeństwa i efektywności energetycznej.

 

W przemyśle półprzewodników systemy próżniowe zapewniają szczelną-próżniową ścieżkę wiązki dla litografii EUV, zapewniając stabilną transmisję źródła światła ultrafioletowego. Wykorzystuje się je także w procesach krytycznych, takich jak powlekanie PECVD, trawienie próżniowe na sucho i implantacja jonów, wymagających pompowania w różnych warunkach, od czystych po trudne warunki pracy i przy bardzo-normach cząstek stałych. Ponadto system może również zapewniać kompleksowe rozwiązania próżniowe do produkcji ogniw fotowoltaicznych, konserwacji żywności, sprzętu medycznego i innych zastosowań.